三工位真空炉
三工位真空烧结炉主要应用于电力半导体器件,烧结,焊接等工艺
设备参数：
★口径：Φ350mm
★工作方式：共用一套加热体，A、B、C管交替工作
★工作温度：300-1000℃
★恒温区1000mm±3℃
★冷态真空度：5Χ10-4Pa
★真空系统：机械泵+K300扩散泵
★阀门：Φ300气动挡板阀为主阀和进口电磁阀加热
★功率：47KW
★真空计：复合数字表
★充气种类：N2、氩气、H2
★控制系统全自动、手动
青岛育豪微电子设备有限公司
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2014-3-25 9:26:25
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