主要技术参数
1、工作区间：350*350*900
2、极限温度：1600℃并保温2小时
3、使用温度：小于1550℃
4、设计加热功率：90kVA
5、温度均匀度：低中温<±10℃ 高温< ±5℃
6、极限其真空：2Pa（在冷态、空炉、干净的炉内条件下）
7、泄露率：不大于20pa/h (24小时平均值、在冷态、空炉、干净的炉内条件下)
8、额定电压：三相380V ±10%
9、供给冷却水：压力：0.2~0.4Mpa 温度：10--30℃ 流量.>10M3/H
10、发热体：石墨棒
11、控制：脱蜡、烧结、升温、保温、炉压及各阀动作均应自动连锁。
12、气体供给：配气盘上可分别控制H2、Ar压力及流量。