在众多变压吸附制氧流程中，大体上可归纳为PSA、VSA、VPSA三种。PSA即超大气压吸附常压解吸流程，优点是机组简单且对分子筛要求低，缺点是能耗太高，宜在小型设备上使用；VSA即大气压吸附真空解吸流程，优点是能耗低，缺点是设备相对复杂，总投资昂贵；VPSA即穿透大气压真空解吸流程，优点是能耗较低，分子筛利用率高，设备总投资相对于VSA流程要低得多，缺点是对分子筛和阀门的要求相对较高。