光切法显微镜以光切法测量零件加工表面的微观不平度。其能判别国家标准GB1031-68所规定▽3-▽9级表面光洁度（表面粗糙度）对于表面划痕、刻线或某些缺陷的深度也可用来进行测量。光切法特点是在不破坏表面的关况下进行的。是一种间接测量方法。即要经过计算后才能确定纹痕的不平度。