提拉法晶体生长炉 晶体提拉法/下降法装备 碳化硅生长、硒化锌晶体气相生长
产品型号:SML
参考价格:-
产地:上海
发布时间:2025-4-21 10:44:41
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产品介绍:
应用领域:
1. 半导体行业
- 单晶硅生长:用于制造集成电路、太阳能电池等所需的单晶硅棒,纯度可达99.9999%以上。
- 化合物半导体:如砷化镓、磷化铟等,用于高频通信器件和光电子元件。
2. 光学材料
- 蓝宝石晶体(Al₂O₃):用于LED衬底、光学窗口、智能手机屏幕盖板等。
- 钇铝石榴石(YAG):制造激光晶体、闪烁晶体(如医疗CT探测器)。
3. 激光与非线性光学
- 钛宝石晶体(Ti:Sapphire):超快激光器的核心材料。
- 铌酸锂(LiNbO₃):用于光调制器、声表面波器件。
4. 科研与特种材料
- 高温超导材料:如钇钡铜氧(YBCO)单晶。
- 闪烁晶体:碘化铯(CsI)、锗酸铋(BGO)用于高能物理探测。
技术特点:
1. 核心生长工艺
- 熔体控制:通过高纯度坩埚(如石英、铱金)熔融原料,避免污染。
- 籽晶引晶:使用定向籽晶诱导单晶生长,精准控制晶向(如硅的〈100〉或〈111〉方向)。
- 提拉与旋转:
- 提拉速度:0.1~10 mm/h,影响晶体直径和缺陷密度。
- 旋转速率:5~30 RPM,确保熔体均匀性和界面稳定性。
2. 加热与温控系统
- 加热方式:
- 电阻加热:石墨或钼发热体,适用于硅、蓝宝石等(温度范围1400~2200°C)。
- 感应加热:高频线圈耦合金属坩埚,适合高熔点材料(如钨)。
- 温度精度:±0.5°C以内,通过多区热场设计减少径向温度梯度。
3. 环境控制
- 气氛选择:
- 惰性气体(Ar、N₂):防止材料氧化(如硅生长需高纯氩气)。
- 真空环境:用于易挥发材料(如GaAs)以减少气泡缺陷。
- 压力调节:动态控制炉内压力,优化晶体生长界面形态。
4. 自动化与监测
- 直径控制:激光/视觉传感器实时监测晶体直径,反馈调节提拉速度。
- 智能工艺:预设多段生长曲线,自动调整温度、转速等参数。
- 缺陷检测:集成X射线衍射(XRD)或红外成像,实时分析晶体质量。
5. 设备结构设计
- 热场优化:多层隔热屏(石墨、钼)减少热损失,提升能源效率。
- 冷却系统:水冷炉壁与气体冷却结合,快速降温避免热应力开裂。
- 耐腐蚀材料:坩埚和炉膛采用铱、钨等高抗腐蚀材料,延长使用寿命。
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- 主营行业: 烧结设备
- 经营性质:请在下列表中选择
- 地区:上海
- 友情链接:粉末冶金