应用领域：
1. 精密工具与模具
- 高速钢（HSS）刀具：消除淬火应力，提升硬度与韧性，延长使用寿命。
- 硬质合金模具：减少表面氧化，保持尺寸精度（如冲压模具、注塑模具）。
2. 航空航天与军工
- 钛合金部件：真空回火避免氢脆，优化力学性能（如飞机起落架、发动机叶片）。
- 高强度钢构件：消除残余应力，提升抗疲劳强度（如火箭壳体、导弹结构件）。
3. 医疗器械与精密零件
- 手术器械（如不锈钢镊子、剪刀）：无氧化表面处理，确保洁净度与耐腐蚀性。
- 微型齿轮/轴承：精准控制变形量，保障装配精度。
4. 电子与半导体
- 磁性材料（如钕铁硼永磁体）：真空环境防止晶界氧化，维持磁性能。
- 溅射靶材：回火改善微观结构，提升溅射均匀性。
5. 高端金属材料研发
- 形状记忆合金（如镍钛合金）：调控相变温度与回复性能。
- 超导材料：优化晶格结构，提高临界电流密度。

技术特点：
1. 真空环境优势
- 无氧化/无脱碳：高真空状态下，保护工件表面光洁度。
- 去气作用：高温下脱除材料内部吸附气体（如H₂、O₂），减少氢脆风险。
2. 温度控制系统
- 温控范围：200~800°C（根据材料需求可扩展至1200°C）。
- 均匀性：多区独立加热+强制对流（氮气/氩气循环），炉温均匀性≤±3°C。
- 升降温速率：可控速率（如1~10°C/min），避免热冲击导致变形。
3. 加热与冷却技术
- 加热方式：
- 电阻加热：钼丝、硅碳棒或金属合金发热体，适应不同温度段。
- 辐射加热：石墨发热体结合反射屏，提升热效率。
- 冷却系统：
- 气冷：高纯氮气/氩气快速冷却，可控冷却速率。
- 分级冷却：分阶段降温，减少残余应力（如高温段慢冷，低温段快冷）。
4. 炉体结构设计
- 双层水冷炉壳：内层不锈钢（耐高温），外层碳钢，夹层通水冷却，确保设备寿命。
- 密封性：金属密封法兰+高温密封圈，漏率≤1×10⁻⁴ Pa·m³/s。
- 装载系统：
- 多层料架：适应批量处理（如小型刀具、精密零件）。
- 定制工装：针对异形件（如涡轮叶片）设计专用夹具。
5. 智能化与节能
- 工艺编程：预设多段回火曲线（升温-保温-冷却），支持自动执行与数据存储。
- 能耗优化：
- 余热回收：利用废气预热进气气体，节能20%~30%。
- 变频控制：根据负载动态调整加热功率。
- 安全防护：过温保护、断水报警、气压联锁等多重安全机制。